爱普科斯（EPCOS）研制了一系列新型微型多层压电元件，除超薄压电变压器外，还推出压电弯曲器和谐振器。借助后者，美国 New Scale Technologies 公司开发出尺寸极小的直线电机：长约 6 mm，截面约 1.55 mm²，可直接用 2.8 V 电池供电。
电机含有运行于螺母内的螺纹针；超声波谐振器激活后促使螺母扭转振荡，驱动螺纹针前后运动。结构简单牢固，允许前进速度可达约 10 mm/s，分辨率可精确到约 0.5 µm；谐振器工作频率在约 150 kHz 的超声波范围。
与早期需约 30 V 工作电压的压电直线电机相比，新型压电谐振器仅需约 2.8 V，外形紧凑，更适合电池供电设备，例如手机拍照系统的光学变焦与自动对焦。